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面板

無塵室污染源可視化系統

CVS-Submicron

~將看不見的世界可視化的技術~​

利用攝影機和光源,以非接觸的方式使生產設備內部的亞微米級異物可視化,並即時拍攝和評估的技術。
我們為無法使用粒子計數器的環境提供了一種新的異物管理方法。​

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