商品介紹

Hitachi high-tech

VS1800

奈米3D白光干涉量測系統VS1800是利用光的干涉現象進行微細的表面形狀測量，
實現了高功能薄膜、半導體、汽車零件、顯示器業界所要求的高精度測量。
此外，該系統還能夠非破壞性地測量多層膜的層結構及層內部的異物。

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