觀察設備
•X線檢查設備客觀察高密度半導體、細微電子零部件、樹脂材料或複合材等內部結構。
•MTS的Nano Focus技術實現了領先業界的高解析能力，可分辨出0.4um的線寬，代表可檢出0.4um以上的內部缺陷。
•MTS採用Lab6線源，相較於以往的Wu線源，低電壓即可取得明亮的影響，於是拍攝時間可大幅縮短(例：原本需要10個小時的CT影像可在75分鐘內完成拍攝)。
•線源都是獨自開發，客戶可自己更換部分零件即可維護，使得RUNNING COST大幅減低。
特色①：保證JIMA CHART 0.4um
•一般X線光斑為橢圓形狀，因此縱或橫向其中一邊的解析度會下降，但是MTS的光斑是真圓型的，因此無論是縱向或橫向，其解析能力不會有差異。
•線源和被測物之間不會有任何的妨礙物(一般線源都位於載台下方)，因此可縮短線源到樣品之間的距離，使得解析度變得更高。
特色②：Lab6線源
•Lab6線源拍攝的效果比起Wu更為明亮，且拍攝速度也可高10倍以上。
•就算低電壓也可取得清晰的影像，於是透光性好的物質，如不織布或纖維等也可以拍得非常清楚。
特色③
•採用開放式X光源⇒客戶可以自己更換部分零件即可完成X線源的更換。
•一般密閉式光源需要由原廠更換整個UNIT，因而MTS開放式X光原可大幅節省RUNNING COST。
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