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量測設備

非接觸式形狀測量

NH Series

特色:

       • 受到ISO認可的測量方法。(ISO 25178-605)

       • 不依賴表面顏色or反射率來做高精度測量。

       • 高水準的角度模仿能力。(最大傾角87度)

 • 以非接觸量測方法進行,可避免探針損耗。

• 高精密度及高硬度的XY載台。(實測平整度0.437μm(測量範圍150×          150㎜)

   

 

 

 

 

 

測量實例:

 

        

機台規格:

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