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NH Series
特色:
• 受到ISO認可的測量方法。(ISO 25178-605)
• 不依賴表面顏色or反射率來做高精度測量。
• 高水準的角度模仿能力。(最大傾角87度)
• 以非接觸量測方法進行,可避免探針損耗。
• 高精密度及高硬度的XY載台。(實測平整度0.437μm(測量範圍150× 150㎜)
測量實例:
機台規格:
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