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量測設備

光干涉式內周精密測量儀

NMH Series

本機器在不接觸的情況下,在25秒的高速度下,可以自動量測φ1.1以上的小直徑內徑表面,精度可達0.2um以下(代表值為0.02um)。此外,我們已經能夠將之前需要的四個系統,即內徑測量機,真圓度測量機,形狀測量機,缺陷檢測相機,整合成一個單元。

●產品特色:

●最小值徑φ1.1mm:可測量小孔的內徑、真圓度、同芯度、同軸度(圓筒度)。​

●測量再現性:0.2um的高精度測量​。

●Setting Free測量:獨自的演算處理實現了工件的自動傾斜補正​。

●測量時間:大約25秒(四斷面量測:內徑/真圓度/形狀同時測量)​。

●可對應Inline檢測​。

 

測量實例:

Φ3.9mm環形規                                               Φ1.6mm軸承

氣門導管內週面三維顯影圖像和孔隙率測量。

 

NMH-02

NMH-03

備考

測定方式

石英管基準式測定法

 

測定内徑

φ1.1~φ25mm

φ1.1~φ25mm

 

探頭測量範圍(徑方向)

探頭直徑+5mm

 

圓周方向之最小測量pitch

1μm

 

圓周方向旋轉精度

±0.1deg

 

Z軸行程

35mm

100mm

 

Z軸最小孔距

0.1μm

0.4μm

 

Z軸精度

±5μm

可搭載scale(選配)

測量再現性

σ=0.2μm

最小二乘直徑,鏡面無分離。

載台大小

200×150mm

 

X-Y自動調心

 

Z軸直線性補正

簡易補正機能有

Z軸載台標準較正式

資料輸出型式

分析結果CSV檔輸出

測量DATA為二進式檔

測定機能例

內徑、兩點間內徑(包含環形gage)

真圓度、真直度、真筒度、同軸度、3D形状表示/輸出、內周面多孔面機率刮傷/可檢測出打痕深度表面粗糙度(簡易比較測定)、齒輪的內外直徑可高速測量(25秒/4断面)

 

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