量測設備
●產品特色:
●最小值徑φ1.1mm:可測量小孔的內徑、真圓度、同芯度、同軸度(圓筒度)。
●測量再現性:0.2um的高精度測量。
●Setting Free測量:獨自的演算處理實現了工件的自動傾斜補正。
●測量時間:大約25秒(四斷面量測:內徑/真圓度/形狀同時測量)。
●可對應Inline檢測。
測量實例:
Φ3.9mm環形規 Φ1.6mm軸承
氣門導管內週面三維顯影圖像和孔隙率測量。
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NMH-02 |
NMH-03 |
備考 |
測定方式 |
石英管基準式測定法 |
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測定内徑 |
φ1.1~φ25mm |
φ1.1~φ25mm |
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探頭測量範圍(徑方向) |
探頭直徑+5mm |
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圓周方向之最小測量pitch |
1μm |
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圓周方向旋轉精度 |
±0.1deg |
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Z軸行程 |
35mm |
100mm |
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Z軸最小孔距 |
0.1μm |
0.4μm |
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Z軸精度 |
±5μm |
可搭載scale(選配) |
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測量再現性 |
σ=0.2μm |
最小二乘直徑,鏡面無分離。 |
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載台大小 |
200×150mm |
― |
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X-Y自動調心 |
有 |
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Z軸直線性補正 |
簡易補正機能有 |
Z軸載台標準較正式 |
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資料輸出型式 |
分析結果CSV檔輸出 |
測量DATA為二進式檔 |
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測定機能例 |
內徑、兩點間內徑(包含環形gage) 真圓度、真直度、真筒度、同軸度、3D形状表示/輸出、內周面多孔面機率刮傷/可檢測出打痕深度表面粗糙度(簡易比較測定)、齒輪的內外直徑可高速測量(25秒/4断面) |
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