分析/評價設備
波前分析空鏡干涉儀
•特色:這是一台就可以量出非常多的收差參數,因為收差是很多因素所造成的綜合參數,所以僅能知道數值,沒辦法知道個別的問題所在點,所以這台用來通常做為最後的檢查設備。
•透過一個圖面就可以計算出多數個波面,求出澤爾尼克係數,來得到慧差、 Astigmatism, Astigmatism是雙折射和形狀偏差混合而造成的收差,透過這台儀器可以求出偏差值,也可以求出形狀量測儀較難達到的偏心量測。
▮波前分析空鏡干涉儀:ANI-Z1特點
【特點1】空鏡干涉儀就可直接分析波前
【特點2】高速攝像、同時演算即時判別単鏡片OK/NG(0.2sec/pcs)
【特點3】高精度測量AS、COMA、SA⇒鏡片軸對稱性、偏芯+Tilt等項目
【特點4】單鏡片也可OK/NG判別(=無需等到組裝後再判斷光學效果)⇒組裝製程的良率提升
【特點5】【自動組裝設備+空鏡儀】來改善良率(開發提案)
NULL MIRROR干渉儀的優點(VS.三次元標準機)
1.快速偏心測量。約5秒/個 ※自動測量
2.0.3um的偏心也可測量
3.可容許傾斜。就算兩端傾斜有3分也可測量
4.三次元標準機無法量出的鏡片也可對應。
實際應用介紹:
應用案例:
各ZERNIKE悉數相當於以下項目:
Ex:
•Z04 and Z05=ASTIGMA⇒鏡片軸對稱性+雙折射
•Z06 and Z07=Coma⇒Decenter+Tilt
•Z08=Spherical Aberration⇒形状偏差
■可快速進行單鏡片的高精度OK/NG判別
■將OK鏡片送到組裝製程
■組裝鏡頭良率大幅提升⇒成本大幅下降
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