1.自動外觀檢查裝置

2.客製化檢查裝置

3.ContamiAnalyzer

4.異物檢查裝置

5.影像處理裝置

6.自動對焦裝置

7.影像量測軟體

8.其他檢查裝置

從一個點光源發射的探測光通過透鏡聚焦到被視測物上如果物體恰在焦點上，那麼反射光通過原透鏡應當匯聚回到光源，這就是共軛焦。

共軛焦又可以分為白光共軛焦、雷射共軛焦等種類。白光是所有光的匯聚，所以掃描較全面，雷射只能掃到長波光，所以多為點狀掃描。

對同一被測量的測量結果之間的一致性，稱為測量的再現性，也稱為重複精度，表示每次量測出來的的均一性。在量測上，數字越小表示誤差越小，精度就越高。

分光計是光譜儀的日語。是將複雜的光線分解為光譜線的科學儀器。由稜鏡或者光柵等構成。

利用光譜儀可以測量物體表面的反射的光線。陽光中的七色光是肉眼能分的可見光，但若通過光譜儀將陽光分解，按波長排列，可見光只佔光譜的很小一部分。其餘都是肉眼無法分辨的光譜。

光譜儀的種類可以依據：
1.將複色光分離，依照肉眼可見度分成紅外線光譜儀、紫外線光譜儀。
2.依照色散元件可分成稜鏡光譜儀、光柵光譜儀、干涉光譜儀。

光干涉是從目標物件表面到某點為止的光線距離上產生的差異現象。

干涉儀是利用光的差異現象來檢測目標物表面的凹凸起伏，只要計算干涉條紋的線數，就可以讀取樣本的凹凸(高度)。干涉儀的解析度通常可以到次奈米且速度快。

例：白光干涉儀
＊非接觸
＊光學輪廓儀的一種
＊可進行粗糙度的分析
＊Z軸觀測較強
＊Z軸精度大於共軛焦

偏振(英文:polarization)是電場和磁場的振動方向有規律的光。與此相對，無規則振動的光被稱為非偏振光或自然光。通過一部分結晶或光學濾光器，可以從自然光中獲得偏振。

MTF為Modulation Transfer Function的簡稱。中文譯名為調製傳遞函數。

MTF曲線表達鏡頭的能力，涵蓋整個成像系統的評價能力。

除了MTF之外，還有SFR（Spatial Frequency Response）算法用來衡量影像銳利度，最終計算是希望得到MTF曲線。

當今數位產品像素數量不斷地增加，鏡頭的質量也變得越來越重要，通常，數位照片的解析度實際上是受到鏡頭的限制，而非相機本身 ，

然而，有效讀取MTF圖表是客觀評估鏡頭光學系統成像能力的重要輔助手段。

由於感知清晰度總是主觀的，因此僅通過查看像中的細節來量化鏡頭性能幾乎是不可能的。正因為如此，製造商提出了用MTF來衡量的方法。

MTF的優點是它能夠在單個圖表中提供以下重要訊息：

＊鏡頭分辨率

＊鏡頭對比度

＊散光與橫向色差

＊場曲率

這些數據可以揭示有關鏡頭整體的大量信息，也可用於比較來自同一製造商的不同鏡頭之間的分辨率和對比度。

分辨率也就是解析度的意思。是成像系統區分對象細節的能力。它通常以一條黑線和一條白線為一組，這種線對的測量也稱為頻率，以毫米為單位。所有成像光學器件，在對這樣的圖案進行成像時，線的邊緣會產生一定的模糊，高分辨率圖像是由最小模糊而顯示大量細節的圖像。相反的，低分辨率圖像就會缺乏細節。但是分辨率僅描述鏡頭能夠捕捉到的細節數量，而不一定是捕捉細節的質量。因此，其他因素通常對圖像的質量和清晰度的感知做出更多貢獻。

對比度代表鏡頭區分不同光線的能力。如果對比度非常高的情況下，黑色和白色的區分就有很明顯的差異。而無需眼睛過度專注在圖像上。即便圖像縮小了，依然可以讀取高對比度文本。一旦對比度下降了，就很難讀取到變小且對比度低的圖案，這就表示了鏡頭的解析度(分辨率)和對比度同樣重要，一個好鏡頭是否可以呈現足夠的細節，同時具有合理的對比度來區分這些細節。

色差也稱為色邊/紫邊，通常是當鏡頭無法將所有波長的色彩帶到同一焦平面，或者是當對焦波長發生的常見光學問題在焦平面的不同位置。色差是由鏡頭色散引起的，不同顏色的光具有不同波長以及不同的傳播速度。因此，圖像可能看起來模糊或者明顯的彩色邊緣(紅色、綠色、藍色、黃色、紫色、橘色)出現在物體周圍，特別是在高對比度的情況下，這種色差就分別分為縱向色差和橫向色差。

縱向色差：當不同波長的顏色在通過鏡頭後不會聚在同一點時發生，通常在整個圖像的物體邊緣顯示紅色和綠色以及藍色的色邊，通常情況下通過縮小光圈可以得到緩解。

橫向色差：當不同波長的顏色以一定角度聚焦在沿同一焦平面的不同位置時發生，橫向色差從不出現在圖像的中心，只出現在高對比度區域邊緣，在一些魚眼鏡頭或廣角鏡頭和低質量鏡頭上，通常產生藍色和紫色的色邊，橫向色差僅可以通過後期處理進行緩解。